CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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        單晶圓清洗設(shè)備為何在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中地位會(huì)提(升)?

              從全球市場(chǎng)銷售份額來(lái)看,單晶圓清洗設(shè)備在2008年之后超過(guò)自動(dòng)清洗臺(tái)成為主要的清洗設(shè)備,而這一年正是行業(yè)引入45nm節(jié)點(diǎn)的時(shí)間。根據(jù)ITRS,2007年致2008年是45nm工藝節(jié)點(diǎn)量產(chǎn)的開(kāi)始。松下、英特爾、IBM、三星等紛紛于此時(shí)段開(kāi)始量產(chǎn)45nm。2008年底,中芯國(guó)(際)獲得了IBM批量生產(chǎn)45納(米)工藝的授(權(quán)),成為中國(guó)首(家)向45nm邁進(jìn)的中國(guó)半導(dǎo)體公司。
              根據(jù)市場(chǎng)對(duì)半導(dǎo)體估計(jì),就每月生產(chǎn)10萬(wàn)片晶圓的20nm的DARM廠來(lái)說(shuō),產(chǎn)量下降1%將導(dǎo)致每年利潤(rùn)減少30致50百萬(wàn)美元,而邏輯芯片廠商的損失更高。此外,產(chǎn)量的降(低)還將增加廠商原本已經(jīng)十(分)高昂的資本支出。因而,工藝的優(yōu)化和控制是半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的重中之重,廠商對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備的要求也越來(lái)越高,清洗步驟尤其如此。在20nm及以上領(lǐng)域,清洗步驟數(shù)量超過(guò)所有工藝步驟數(shù)量的30%。而從16/14nm節(jié)點(diǎn)開(kāi)始,由3D晶體管結(jié)構(gòu)、前后端更復(fù)雜的集成、EUV光刻等因素推動(dòng),工藝步驟的數(shù)量增加得很明(顯),對(duì)清洗工藝和步驟的要求也將明(顯)增加。

        清洗設(shè)備

              工藝節(jié)點(diǎn)縮小擠壓良率,推動(dòng)清洗設(shè)備需求提(升)。隨著工藝節(jié)點(diǎn)的不斷縮小,經(jīng)濟(jì)效益要求半導(dǎo)體公司在清潔工藝上不斷突破,提高對(duì)于清潔設(shè)備的參數(shù)要求。對(duì)于那些尋求先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)芯片生產(chǎn)方案的制造商來(lái)說(shuō),有效的無(wú)損清潔將是一個(gè)重大挑戰(zhàn),尤其是10nm、7nm甚致更小的芯片。為了擴(kuò)展摩爾定律,芯片制造商必須能夠從不僅平坦的晶圓表面除去更小的隨機(jī)缺陷,而且還要能夠適應(yīng)更復(fù)雜、更精細(xì)的3D芯片架構(gòu),以免造成損害或材料損失,從而降(低)產(chǎn)量和利潤(rùn)。

              并且,在2008年前后兩個(gè)階段中,市場(chǎng)份額很高的清潔設(shè)備走勢(shì)均與半導(dǎo)體設(shè)備銷售額走勢(shì)保持一致,體現(xiàn)出清洗設(shè)備需求的穩(wěn)定性;并且在單晶圓清洗設(shè)備主導(dǎo)市場(chǎng)后,其占總體銷售額的比例明(顯)提(升),體現(xiàn)出單晶圓清洗設(shè)備和清洗工藝在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的地位提(升)。這一市場(chǎng)份額變遷是工藝節(jié)點(diǎn)不斷縮小的必然性結(jié)果。



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