等離子噴涂在電子工業(yè)中的應(yīng)用增強(qiáng)材料表面附著力

等離子（電漿）噴涂是一種材料表面強(qiáng)化和表面改性技術(shù)，能使基體表面具有耐磨、耐腐蝕、耐高溫氧化、電絕緣、隔熱、防輻射、減磨、密封等性能。在等離子噴涂的基礎(chǔ)上，發(fā)展了幾種新的等離子噴涂技術(shù)，如：真空等離子噴涂(又稱低壓等離子噴涂)真空等離子噴涂技術(shù)可以控制氣氛，在4~40Kpa的密封室內(nèi)噴涂。由于工作氣體等離子化后，是在低壓氣氛中邊膨脹體積邊噴出，因此噴出速度為超音速，非常適合對氧化高度敏感的材料。

等離子技術(shù)的應(yīng)用前景：

等離子體是與固體、液體和氣體不同的第四種物質(zhì)。物質(zhì)由分子組成，分子由原子組成，原子由帶正電的原子核和帶負(fù)電的電子組成。施加高能量后，電子離開原子核，物質(zhì)成為由帶正電的原子核和帶負(fù)電的電子構(gòu)成的等離子體。看似神秘的等離子體并不少見。很常見的等離子體是高溫電離氣體，如電弧、霓虹燈、熒光燈中的發(fā)光氣體、太陽、閃電、極光等。等離子體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、新能源工業(yè)、聚合物薄膜、材料防腐、冶金、煤化工、工業(yè)三廢處理、醫(yī)療行業(yè)、液晶顯示組裝、航天航空等領(lǐng)域。帶電粒子在等離子體中相互作用，性能十分活躍，利用這一特性可實(shí)現(xiàn)各種材料的表面改性。

表面技術(shù)主要用于以下兩個方面。

1.等離子體表面處理：為了提高工具、模具等的性能，可以使用等離子體滲透金屬表面的氮、碳、硼、碳氮。該方法的特點(diǎn)是，不是在表面入復(fù)蓋層，而是改變基體表面的材料結(jié)構(gòu)及其性能。在處理過程中，工件溫度低，不使工件變形對精密零件很重要。該方法可應(yīng)用于各種金屬基體，主要有輝光放電氮、氮碳滲透、硼滲透。

2.等離子體在電子工業(yè)中的應(yīng)用：大規(guī)模集成電路芯片的生產(chǎn)技術(shù)，過去采用化學(xué)方式，用等離子體方法代替后，不僅降低了工藝中的溫度，還將涂膠、顯影、腐蝕、除膠等化學(xué)濕法改為等離子體干法，使技術(shù)更加簡單，實(shí)現(xiàn)自動化等離子體用于材料表面改性，主要包括以下幾個方面：

①改變潤濕性(也稱為潤濕性)。有機(jī)化合物表面的潤濕性對顏料、墨水、粘合劑等的粘結(jié)性、材料表面的閃光電壓和表面泄漏電流等電氣性能有很大影響。測定潤濕性的量稱為接觸角。

②增強(qiáng)附著力。用等離子體活化氣體處理一些聚合物和金屬后，可以增強(qiáng)材料和粘合劑的結(jié)合強(qiáng)度。原因可能是聚合物表面的交聯(lián)增強(qiáng)了邊界層的附著力；或者在等離子體處理過程中引入偶極子，提高了聚合物表面的附著強(qiáng)度；也可能是等離子體處理消除了聚合物表面的污垢，改善了附著條件。電暈處理也有同樣的效果。