大氣壓等離子體處理機(jī)說的是是可以在大氣壓或特定氣壓下激發(fā)氣體電離并產(chǎn)生特定輝光等離子體的設(shè)備，也稱為氣壓等離子體處理機(jī)和準(zhǔn)輝光等離子體處理機(jī)。與絲狀放電相比，準(zhǔn)輝光放電等離子體更加穩(wěn)定均勻，更適合大面積材料或產(chǎn)品的表面處理。

       大氣壓等離子體處理機(jī)形成準(zhǔn)輝光放電，必須達(dá)到小的初始電子密度。如果要電離的電子密度足夠大，就會產(chǎn)生大面積的準(zhǔn)輝光，使得開始的崩塌頭相互重疊合并，同時(shí)減少切向空間電荷的電場梯度。
       氣體電離的強(qiáng)度受氣體純度、氣體附著、剩余氣體亞穩(wěn)態(tài)、電子、離子等因素的影響。使用介質(zhì)阻擋放電時(shí)，除介質(zhì)表面的記憶電荷外，還可利用半個(gè)周期內(nèi)的剩余粒子，利用合適的放電頻率也能對整個(gè)放電體積產(chǎn)生記憶效應(yīng)。
       另外，特殊介質(zhì)對大面積均勻等離子體也有利。電介質(zhì)表面可以積累相當(dāng)數(shù)量的電荷。在高電壓下，這些電荷可以均勻地束縛在介質(zhì)表面。當(dāng)電場改變極性并超過一定閾值時(shí)，電荷也被排斥離開表面，點(diǎn)燃高電流密度阻擋放電。在這種高電流條件下，每半個(gè)波形的單個(gè)電流峰只持續(xù)幾秒鐘；在正常的輝光放電條件下，氦放電3微秒，氮放電200微秒。
大氣壓等離子體處理機(jī)中電子的平均能量。
       應(yīng)用等離子體化學(xué)時(shí)，電子常常需要較高的能量，電子能量較低，僅依據(jù)激振來輸入交流電源，是不能進(jìn)行反應(yīng)，必須要達(dá)到反應(yīng)條件。因此，提高高能電子在放電空問中的分布對于獲得有效的等離子體反應(yīng)速率很重要。

       根據(jù)研究，一般等離子體中的電子平均能量在1-10ev之間，高于10ev對離解和電離氣分子的影響更好，而電子能量的大小常見與放電條件密切相關(guān)，如電極結(jié)構(gòu)、功率和頻率。
大氣壓等離子清洗機(jī)中的電離輻射。
       當(dāng)?shù)入x子體發(fā)射時(shí)，電磁波將產(chǎn)生電離輻射。氣體放電產(chǎn)生的等離子體常見伴有發(fā)光，其顏色與反應(yīng)氣體的種類有關(guān)。除發(fā)射可見光外，還會產(chǎn)生紫外線和X射線本質(zhì)上是電磁波。等離子體電離輻射的主要是源于是等離子體中顆粒運(yùn)動狀態(tài)的變化，尤其是電子體。除了束縛電子，還有自由電子可以連續(xù)改變動能。當(dāng)其與其他粒子碰撞或受到其他外場影響時(shí)，它會改變運(yùn)動狀態(tài)，并隨著能量狀態(tài)的變化而發(fā)生跳躍電離輻射。
        在大氣壓等離子體處理機(jī)中，對等離子體電離輻射的研究很重要。一方面，大氣壓等離子體處理機(jī)電離輻射會釋放能量，造成等離子體能量損失；同時(shí)，一些氣體電離輻射也會激發(fā)光電離，從而有效激發(fā)反應(yīng)系統(tǒng)；另一方面，等離子體電離輻射攜帶大量等離子體內(nèi)部信息。依據(jù)對電離輻射頻率和強(qiáng)度的研究或時(shí)間分析，可以診斷等離子體的密度、溫度和粒子狀態(tài)，獲取反應(yīng)過程的相關(guān)信息。
       大氣壓等離子體處理機(jī)中，等離子體常見有3個(gè)主要是的電離輻射過程，即刺激電離輻射、復(fù)合電離輻射和源電離輻射，而在大氣壓等離子體處理機(jī)中，等離子體的電子溫度僅為1~10eV，因此，對電離輻射和復(fù)合電離輻射起著主要是的刺激作用。
       當(dāng)被激發(fā)狀態(tài)的粒子轉(zhuǎn)移到被激原子的低激發(fā)狀態(tài)或基體狀態(tài)時(shí)，激發(fā)電離輻射是電離輻射。在輻射躍遷前后，電子激發(fā)電離輻射處于束縛狀態(tài)，其電離輻射激發(fā)頻率由兩能之間的能量差決定。復(fù)合型離子化輻射是指自由電子被離子捕獲后，合成低價(jià)格離子或中性離子發(fā)出電磁波的過程。電子在復(fù)合輻射躍遷過程中從自由狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)槭`狀態(tài)。
        電離輻射是指等離子體中的帶電顆粒在其它顆粒靜電勢場的作用下發(fā)生速度變化時(shí)，由動能變化引起的電磁輻射。在等離子體處理機(jī)中，電子速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于離子速度，因此韌性電離輻射主要是由電子產(chǎn)生。由于離子電場的作用，自由電子靠近正離子時(shí)，電子的慣性運(yùn)動被阻滯，從而產(chǎn)生電磁輻射，能量損失。在這個(gè)過程中，電子電離輻射后仍然是自由的，只是動能減少。
         從微觀下看大氣壓等離子體處理機(jī)電離輻射產(chǎn)生輝光放電，從而形成等離子體。