CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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        用CRF等離子體表面處理儀清洗金屬復(fù)合材料會(huì)變黃嗎?

        用CRF等離子體表面處理儀清洗金屬復(fù)合材料會(huì)變黃嗎?
                半導(dǎo)體包裝行業(yè),包括集成電路、分離器件、傳感器和光電子包裝,經(jīng)常使用金屬復(fù)合材料引線框架,為了提高鍵合和塑料密封的可靠性,金屬支架一般通過等離子體清洗機(jī)處理一會(huì),以去除表層有機(jī)化合物、污染物,提高其可焊性、粘附性。但有的時(shí)候就會(huì)發(fā)現(xiàn),金屬支架在等離子體表層處理儀的真空環(huán)境中使用不當(dāng),容易出現(xiàn)表層變黃、黑色、嚴(yán)重甚至燒板等現(xiàn)象。是因?yàn)榍粌?nèi)的空氣不干凈,殘余空氣中的氧分子受到刺激,氧等離子體與金屬表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成氧化的結(jié)果嗎?原因會(huì)是這樣嗎?
        一、等離子體表層處理儀真空度對(duì)產(chǎn)品清洗效果和變黃的影響
                等離子體表層處理儀的真空度相關(guān)因素包括真空腔泄漏、背面真空、真空泵的泵送速度和工藝氣體的進(jìn)氣流量。真空泵泵速度快,背面真空值越低,殘留空氣越少,銅支架與空氣中氧等離子體反應(yīng)的機(jī)會(huì)越少;當(dāng)工藝氣體進(jìn)入時(shí),等離子體可以與銅支架充分反應(yīng),無刺激的工藝氣體可以帶走反應(yīng),銅支架清洗效果好,不易變黃。


        等離子體表面處理儀

        二、等離子體表面處理儀的電源功率對(duì)產(chǎn)品清洗效果和變黃的影響
                等離子體清洗機(jī)電源的相關(guān)因素包括能量功率大小和單位功率密度。電源功率越大,等離子體能量越高,對(duì)產(chǎn)品的表層影響越強(qiáng);在相同功率下,加工產(chǎn)品越少,單位功率密度越大,清洗效果越好,但可能導(dǎo)致能量過大、板變黃或燒板。
        三、等離子體表面處理儀電場分布對(duì)產(chǎn)品清洗效果和變黃的影響
               等離子體表面處理儀離子電場分布的相關(guān)因素包括電極結(jié)構(gòu)、氣體流向和金屬產(chǎn)品的位置。不同的處理材料、工藝要求和容量要求,電極結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)不同;氣體流動(dòng)形成氣場,影響等離子體的運(yùn)動(dòng)、反應(yīng)和均勻性;產(chǎn)品的位置會(huì)影響電場和氣場特性,導(dǎo)致能量分布不平衡,局部等離子體密度過大,燒板。
                 除上述因素外,實(shí)踐證明,等離子體清洗機(jī)的處理時(shí)間、電源頻率、車輛類型等對(duì)產(chǎn)品的處理效果和變黃也有影響。


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